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अर्ध-कंडक्टरों के लिए ईडीआई जल शोधन संयंत्र आमतौर पर अल्ट्रा प्योर वॉटर (यूपीडब्ल्यू) प्रणाली का हिस्सा होता है। इस संदर्भ में, आरओ के बाद ईडीआई "आयन हटाने का पॉलिशिंग चरण" है जो आपको बेहद कम चालकता तक पहुंचने में मदद करता है। इसके बाद अतिरिक्त यूपीडब्ल्यू पॉलिशिंग फैब आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए टीओसी, सिलिका/बोरॉन, घुलित गैसों, बैक्टीरिया और कणों को हटा देती है।

ईडीआई सेमीकंडक्टर्स के लिए मानक क्यों है?

कई महत्वपूर्ण तकनीकी लाभों के कारण सेमीकंडक्टर संयंत्रों में पारंपरिक आयन एक्सचेंज रेजिन बेड को बड़े पैमाने पर ईडीआई द्वारा प्रतिस्थापित किया जा रहा है:

शून्य आयनिक रिसाव: मानक राल बिस्तरों के विपरीत, जो आयनों के समाप्त होने पर "रिसाव" कर सकते हैं, ईडीआई एक निरंतर, उच्च शुद्धता धारा प्रदान करता है क्योंकि राल एक विद्युत क्षेत्र द्वारा लगातार पुनर्जीवित होता है।
रासायनिक-मुक्त वातावरण: अर्धचालकों को अविश्वसनीय रूप से स्थिर वातावरण की आवश्यकता होती है। ईडीआई खतरनाक एसिड और कास्टिक के बजाय बिजली का उपयोग करता है, जिससे रासायनिक धुएं या आकस्मिक फैल के जोखिम को खत्म किया जा सकता है जो "स्वच्छ कमरे" की हवा को दूषित कर सकता है।
कम टीओसी और सिलिका हटाना: ईडीआई सिलिका ($SiO_2$) और बोरोन जैसी कमजोर आयनित प्रजातियों को हटाने में अत्यधिक प्रभावी है, जिन्हें अलग करना बेहद मुश्किल है लेकिन अर्धचालक पैदावार के लिए विनाशकारी हैं।
मॉड्यूलर स्केलेबिलिटी: सेमीकंडक्टर "फैब्स" बड़े पैमाने पर हैं। ईडीआई सिस्टम मॉड्यूलर हैं, जो इंजीनियरों को ऑपरेशन में लिथोग्राफी या नक़्क़ाशी उपकरणों की संख्या से मेल खाने के लिए पानी के उत्पादन को ऊपर या नीचे करने की अनुमति देते हैं।

सेमी-कंडक्टर के लिए विशिष्ट ईडीआई जल शोधन संयंत्र

सेमीकंडक्टर सुविधा में, ईडीआई प्लांट पॉलिशिंग लूप का "हृदय" है, जो रिवर्स ऑस्मोसिस (आरओ) चरण और फ़िल्टर के उपयोग के अंतिम बिंदु{{0}के बीच स्थित है:

प्राथमिक उपचार (डबल-पास आरओ): 99% थोक संदूषकों को हटा देता है। दूसरे आरओ पास से उच्च गुणवत्ता वाला पर्मिट ईडीआई के लिए फ़ीड पानी के रूप में कार्य करता है।
डीगैसीकरण: घुले हुए $O_2$ और $CO_2$ को हटाता है। यह महत्वपूर्ण है क्योंकि घुली हुई गैसें वेफर सतह पर बुलबुले पैदा कर सकती हैं और ईडीआई की दक्षता में हस्तक्षेप कर सकती हैं।
ईडीआई मॉड्यूल: पानी को 15-18 एम$\\ओमेगा$·सेमी तक पॉलिश किया जाता है। विद्युत क्षेत्र यह सुनिश्चित करता है कि आयन एक्सचेंज रेज़िन स्थायी रूप से "चार्ज" स्थिति में रहे।
यूवी और अल्ट्राफिल्ट्रेशन (यूएफ): किसी भी शेष उप-माइक्रोन कणों को पकड़ने के लिए किसी भी ट्रेस ऑर्गेनिक्स (टीओसी) और यूएफ झिल्ली को नष्ट करने के लिए 18.5 एनएम या 254 एनएम यूवी तरंग दैर्ध्य पर अंतिम "पॉलिशिंग"।

मुख्य डिज़ाइन बिंदु जो सबसे अधिक मायने रखते हैं

ईडीआई को फ़ीड बहुत साफ होना चाहिए: कम कठोरता, कम सिलिका स्केलिंग जोखिम, कम ऑक्सीडेंट (क्लोरीन), कम एसडीआई।
डीगैसिंग (CO₂ निष्कासन) अक्सर प्रतिरोधकता में सुधार करता है और EDI लोड को कम करता है।
सामग्री और स्वच्छता: यूपीडब्ल्यू लूप आमतौर पर संदूषण को रोकने के लिए उच्च शुद्धता वाली सामग्री (उदाहरण के लिए, पीवीडीएफ / पीएफए / ईपी - ग्रेड एसएस का उपयोग करते हैं) और संदूषण को रोकने के लिए निरंतर पुनरावर्तन का उपयोग करते हैं।
निगरानी: प्रतिरोधकता, टीओसी, सिलिका, डीओ, कण गणना, प्रवाह/दबाव, तापमान-साथ ही अलार्म/ट्रेंडिंग।

यदि आप मुझे ये 4 आइटम बताएं, तो मैं सेमी-कंडक्टर के लिए एक उपयुक्त ईडीआई जल शोधन संयंत्र का सुझाव दे सकता हूं: